MEMS掃描儀
MEMS掃描儀
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一種MEMS掃描儀系統和方法,裝置用于偏轉入射激光束的系統包括一種MEMS鏡(26)和一種不透明板(28),這種MEMS鏡(26)可用于接收入射激光束并生成反射的激光束,這種不透明板(28)具有一種孔徑(30),且這種不透明板(28)與這種MEMS鏡(26)相對.這種孔徑(30)的尺寸確定為允許這種入射激光束和這種反射的激光束穿過這種孔徑(30).
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