本發明公開了一種制備超高純鋁及超高純鋁合金濺射靶材的方法，包括以下步驟：將材料在200℃～500℃，保溫24～48小時空冷至室溫；鑄錠放入橢圓形模具中，沿X方向進行鍛壓，變形量達到20%～40%；將鑄錠放入圓形模具中，沿Y方向進行鍛壓，變形量達到20%～40%；將鑄錠從模具中取出，沿Z方向進行鍛壓，變形量達到70%；將鍛壓后的鑄錠在200～400℃條件下進行退火處理；將鍛壓成板材在室溫下進行8～20道次軋制，每道次扎下量不低于25%，X方向與Y方向交替軋制；在200～400℃條件下進行退火處理，既消除了內應力，并將材料晶粒細化至200μm以下。運用本方法制作的超高純鋁靶材，晶粒細小均勻，織構穩定，并且成材率高，易于操作，便于大規模工業化生產。