半導體虛擬
半導體虛擬
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“要長出高質量的碳化硅(SiC),我們需要對生產工藝進行設計、調試和優化。”晶體材料國家重點實驗室教授陳秀芳帶領的課題組有一項重要任務——通過物理氣相沉積法生長出高質量、大尺寸的SiC單晶材料。 “但實際的生長耗時、耗料,可能也不穩定,通過計算機模擬‘虛擬生長’過程,可提前獲知溫度、生長速率等信息,”陳秀芳說。這個方法就像“戰爭推演系統”和實打實地實戰一樣奏效。
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